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[半導(dǎo)體電子]——磁控濺射

人氣：4462 文章出處： 發(fā)表時間：2017-11-13
  磁控濺射是物理氣相沉積（Physical Vapor Deposition，PVD）的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點
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